在第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会上,中国市政工程中南设计研究总院有限公司总工程师助理刘可作了“高排放标准半导体废水深度处理工艺探索”的专题报告。
刘可工程师作报告 刘可工程师系统介绍了高排放标准半导体废水处理项目废水来源及水质特征分析、高排放标准可达性分析和工程案例等。 半导体废水深度处理应重点关注CODcr和氟化物指标,臭氧生物活性炭、活性炭吸附等工艺可以作为CODcr的深度处理工艺,树脂吸附、反渗透工艺可以作为氟化物达标的保障工艺,氟化物高排放标准处理的最优工艺还有工程案例待进一步验证。 在报告最后,刘可提出了半导体废水深度处理工艺的展望,相关工程设计应具备系统性思维,从产业整体角度考虑水资源的高效低耗利用问题,以支撑电子信息产业的高质量发展。