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创建时间:2024-01-31当前位置: 首页 >> 再生水利用 >> 工业废水回用 >> 电子行业再生水回用

Water for Chips丨推动半导体超纯水系统设备材料国产化发展

在第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会上,作为电子级超纯水的终端用户,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司主任工程师王宸作了“半导体超纯水系统设备材料国产化验证平台的介绍”的专题报告。

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王宸主任工程师作报告

    王宸系统介绍了半导体超纯水系统设备材料国产化验证平台的主要功能、验证方式和评价方法等。

    验证平台涉及前处理、制程、抛光等超纯水制备全流程,涵盖设备、耗材、仪表、加药等全材料,验证功能齐全,验证方式灵活,覆盖终端用户对电子级超纯水的使用要求,为推动半导体超纯水系统设备材料国产化替代提供坚实平台。

    在报告最后,王宸提出了对电子级超纯水国产化替代进程的展望,需要持续推动“产品生产-技术研发-实际应用”融合模式,充分发挥各方优势和作用,共同攻坚克难,才能最终实现超纯水系统国产化。


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