电子工业是我国国民经济的重要产业,其生产过程中需要消耗大量的高品质水资源。在集成电路行业,电路生产能力为5万片/月的生产线耗水量通常为7000 m3/d左右。集成电路行业用水环节包括清洗、冷却、洗涤塔和生活用水。其中,清洗环节需使用超纯水,其用水量占全厂的2/3以上。
在北京经济技术开发区,再生水厂针对开发区内微电子企业的用水需求,1期工程采用微滤-反渗透工艺,日处理量可达2万m3/d,向诺基亚公司、中芯国际集成电路制造公司等电子企业供应高品质再生水。下图为该再生水厂处理流程图。
北京经济技术开发区再生水厂工艺流程图
但是,反渗透过程中产生的浓缩水含有无机盐、有毒有害污染物、病原微生物等。若将浓缩水直接排放到环境中,水中的污染物具有潜在的健康和生态风险,需对其进行处理。
来源:《再生水水质安全评价与保障原理》,胡洪营、吴乾元、黄晶晶、赵欣等 著,科学出版社,2011.4
关键词:再生水,污水再生利用,污水处理工艺,回用,水循环,供水,水质标准,风险控制,水质安全评价